60K 桌面型

60K 宽喷型

超声波沉积光刻胶雾化喷涂设备介绍：

       在传统的高速旋涂无法提供均匀覆盖深孔形貌或高纵横比的应用中，用均匀的光刻胶薄膜涂覆半导体成为了完整的解决方案。与传统的旋涂相比，采用超声波喷涂的光致抗蚀剂涂层在沉积更均匀的涂层方面具有优势，特别是在高深宽比沟槽和v形槽结构中沿侧壁顶部沉积时，离心旋涂无法沉积均匀的涂层沿着侧壁形成膜，而没有过多的光致抗蚀剂沉积在腔体的底部。事实证明，使用超声技术进行直接喷涂是将光刻胶沉积到3D微结构上的可靠且有效的方法，从而减少了因金属过度暴露于抗蚀剂涂层而导致的设备故障。

超声波沉积光刻胶雾化喷涂设备组成：

       整机由超声波雾化喷嘴，驱动电源，XYZ三轴联动伺服系统，智能化操作系统，液体供给系统，低速空气整形装置，外壳箱体等组成。

优势：

      一、各种表面轮廓的高均匀薄膜覆盖率。

      二、能够以高均匀度涂覆高深宽比的沟槽。

      三、无堵塞的雾化喷涂。

      四、能够以高均匀度沉积薄的单微米层。

      五、经过验证的可重复喷涂工艺。

应用：

       超声喷涂设备主要应用在燃料电池、薄膜光伏电池、薄膜太阳能涂料、钙钛矿太阳能电池、太阳能电池、石墨烯涂层、硅光伏电池、玻璃镀膜、电子电路等行业。喷头可适用于多种溶液，污水、化工液体、油料粘液也能雾化。

服务：

       我们提供用于雾化喷涂的各种超声波处理器。我们也随时为您提供满意的加工定制服务并为您提出蕞佳解决方案。