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| 测量原理 | 带硅微机械的热导传感原理 |
| 测量范围 | SF6 0-*,其他量程可根据要求 |
| 机械尺寸 | PCB 160 x 100mm, 高 40mm |
| 重量 | zui大 800g |
| 管径 | 3mm ID |
| 反应时间 | 6. . . 45s, 与所使用传感元件, 流量, 管长度, 数字时间量 |
| 精度 | 满量程+ 2% FS |
| 稳定性 | 满量程+ 2% FS （ 12个月以上） |
| 重复精度 | + 0.2% （零点时）, 1% （样气时） |
| zui低检测值 | <满量程1% FS |
| 线形误差 | <满量程2% FS |
| 温度特性 | 满量程+ 1% FS/10O Kelvin （零点）, + 2% FS/10O Kelvin （标气） |
| 温控加热器 | 55O C ± 5O C, 选配 |
| 压力特性 | 0% （零点）, < 2% FS/10 mbar （标气）（无压力补偿时） |
| 压力补偿 | < 0.2% FS/10mbar （标气）（补偿到800. . . 1200 mbar）, 选配 |
| 状态/故障控制 | 双色LED显示 |
| 状态/故障输出 | +5V HCMOS on 34-Pin 连接器 |
| 模拟输出信号 | 可选 0-20mA, 4-20mA, 0-1 VDC, 0-5 VDC, 0-10 VDC, 10 Bit 分辨率, 线性 |
| 数字输出信号 | RS232C 接口 （V.28/V.24）; 线性, 12 Bit 分辨率 |
| 数字时间量 | 0.5s, 5s, 10s, 20s, DIP 可选 |
| 电压 | 24 VDC （18 - 30 VDC）, 24 VDC （24 - 30 VDC） 带加热器可选 |
| 平均功耗 | zui大 3W 不带加热器, zui大 8W 带加热器28W 超过3 分钟时（预热期间） |
| 电流输出负载 | Typ. 250 Ω, max 500 Ω |
| 温度范围 | 0. . . +50OC |
| 储存温度 | -20. . . +60OC |
| 流量 | 0. . . 750 ml/min |
| 湿度范围 | 0. . . 95% RH 非冷凝 |
| 就绪状态 | 10s 工作状态, 30min * |
| 报警设定 | 两级可调（电位计）, 输出信号+5V HCMOS signal （无继电器输出） |
| 校准 | 使用电位计进行零点和样气点校准 |
