产品介绍INTRODUCTION

软件功能介绍

KYKY-SEM电镜操作软件纯中文操作界面，模块化布局。在满足基本电镜的操作功能外还具有一键看像，多点尺寸测量，电镜图片文字标注，真空图显示，CCD窗口显示等强大的辅助功能，满足不同用户的个性化需求。

图像处理软件

特点FEATURES

Schottky肖特基场发射电子枪亮度高、单色性好、电子束斑小，寿命长；

采用电子束加速镜筒，确保低压下的成像性能；

束流稳定度高、色散小，适宜于长时间的各种精确分析，如BSE、EDS、EBSD；

低加速电压不导电样品可以直接观测，无需喷金；

操作简便，仅用鼠标即可完成所有的电镜操作；

超大样品仓室，满足不同客户的观测需求；

附属品ACCESSORY

附属设备

X-射线能谱仪

用途

能谱仪（EDS）是用较细聚集的高能电子束照射样品表面所需分析的微区，激发出物质的特征X射线，能谱仪用半导体探测器检测X射线的能量并按其大小展谱，特征X射线的能量决定于组成该物质的元素种类，强度决定元素的含量。

产品特点

◆ 电制冷硅偏移探测器；
◆ 超薄窗口，元素探测从Be开始
◆ 智能定量、智能元素面分布以及扫描等功能
◆ 安装简单可靠

EBSD电子背散射衍射仪器

用途

扫描电子显微镜中电子背散射衍射仪能够对金属，陶瓷显微结构织构和取向差分析；晶粒尺寸及形状分布分析；晶界、亚晶及孪晶界性质分析；

产品特点

◆ 是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射（给出结晶学的数据）。

制样和辅助设备

SBC-12小型离子溅射仪

应用领域

该仪器用于扫描电镜的样品表面处理。工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节，可以非标定制。

SBC-2型多功能试样表面处理机

应用领域

离子喷涂、离子溅射、离子清洗、离子蒸碳、真空蒸金属等工作。

SBC—16氩离子溅射仪

应用领域

氩离子溅射仪通过氩离子轰击靶材，从而在样品表面进行沉积的方式实现样品制备，对靶材无选择性，对样品无伤害。另可以实现离子清洗和离子减薄等功能一机多能！

临界点干燥仪

使用最多的临界点干燥器（CPD）！

尺寸大小：内径：82 mm 内部长度：82 mm

配 件 ：连接管、转接阀、备件箱、配套蒸发皿、网篮套件

压强范围：0－2000psi

温度范围：0°－50° C（32°－ 122° F）

应用APPLICATIONS

多样化的电镜应用定制方案

1.高低温拉伸台和微纳机械手

扫描电镜结合原位拉伸试验台是一种能够动态观测和分析材料微观变形形貌和断裂机制的手段；

利用扫描电镜的大景深、高空间分辨和分析功能，在微观层面上对材料的力学性能进行动态研究；

可以为多种材料做拉伸测试，如金属材料、高分子材料、陶瓷材料等；

拉伸载荷：5000 N，可以实现-150 ℃~600 ℃温度下拉伸测试。

扫描电镜结合纳米机械手，集合纳米操作以及力学-电学性能同步测试功能于一体；

可以应用于复杂微纳米材料的原位机械力学性能测试和结构观察、微纳米多自由度操作和精密组装、微纳米机器人及微纳传感器的力/电学分析等；

力学测量范围从0.5 nN到200 mN，位移检测范围0.05 nm到21 mm。

2.电子束曝光(EBL)系统

以扫描电子显微镜为基础，配备激光精密工件台和图形发生器的新型纳米曝光系统，跟商品化电子束曝光机相比价格低廉；

无需改动电子显微镜，保留显微镜的全部功能，用来制作纳米级线宽的图像，操作灵活，成本较低；

DY-2000A型纳米通用图形发生器是用于电子束曝光的关键设备；

该系统特别适用于微电子器件、量子器件、光电子器件、声表面波器件、微电子系统的研究和开发。

3.扫描电镜与激光联用系统

根据客户定制需求，在电子枪室和样品仓侧面开口，用于激光引入；

电子枪室引入激光，照射到阴极上可产生光致发射电子束，用于表面成像、样品处理等；

样品仓引入激光到样品表面，用于样品激发或样品光致改性研究。

4.扫描电镜与镀膜机联用系统

扫描电镜与镀膜系统联用，真空环境内完成样品传运以及表面状态、形貌及组成成分分析；

在线分析高活性材料表面离子溅射清洗效果及表面腐蚀的微观过程；

本系统主要功能模块包括：场发射扫描电子显微系统、能谱仪、进样系统，同时还可以配备多功能样品台。

5.扫描电镜与扫描隧道显微镜(STM)/原子力显微镜(AFM)联用系统

利用扫描电镜放大倍数连续可调、长工作距离、大景深、易于观测粗糙样品的特点；

与STM/AFM结合，解决STM/AFM难于定位的难题；

首先使用扫描电镜进行选区，然后控制探针到选定的微观区域进行细致成像；

实现从宏观到微观，从mm 范围到nm 范围，从粗造表面到光滑表面的直接观察；

6.电子束焊机图像系统

巧妙地利用焊机已有的一些部件，基于背散射电子成像，实现图像功能；

数字化的图像可以精确定位焊缝的位置，为跟踪焊接轨迹，精确调整焊接参数提供了条件，

大大改善焊接过程和焊缝质量；

这套图像系统既可以用于配套生产新型的电子束焊机，也可以用于升级改造旧的电子束焊机。