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MX61L
产品特点:
半导体检查显微镜200mm/300mm晶圆FPD检查显微镜
• 大型载物台搭载: 300mm晶圆全面检查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利
• 多种观察方式 多种照明方式 多种附件以满足不同应用要求
• 反射光照明
| 型号 | MX61L型显微镜 | |
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正光学系统） | |
| 显微镜镜体 | 射光照明（F.N. 26.5） | 12V100W卤素灯泡（预定心型） 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组（选配） ，转换使用 内置电动孔径光阑（每个物镜可预设，物镜转换时自动转换，暗视场观测时自动打开） |
| 观测方法 | ||
| ①反射光明视场法；②反射光暗视场法；③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法；④反射光简单偏振法；⑤反射光荧光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明视场法；⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。 | ||
| 观察镜筒 | 超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型 其它：超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒 | 超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的标准配置） |
| 换镜转盘 | 电动五孔明/暗视野法用转盘，配备滑槽用于微分干涉衬比法观测：U-D5BDREMC型 | |
| 载物台 | MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm 原装日本精机2轴电动平台，可以进行XY轴同时联动。 带12寸晶圆载物台板。 | |
| 内置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz | ||
| 能耗 | ||
| 体积/重量 | 体积：约710（宽）×843（长）×507（高）mm 重量：约51kg（载物台约重31kg） | |
