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uLF-300超声波小流量液体流量计
(传感器一体型)
应用于IPA・纯水・化学品等半导体制造工艺流程管理,以及微小流量领域的流量管理.
型号 | μLF-304I | μLF-308I |
测量方式 | 超声波时差法 | |
管道材料 | PFA (全氟烷氧基树脂管) | |
直径 | Φ1/4 英寸 | Φ1/8 英寸 |
适用液体范围 | 水、水溶液、石油、化工液体 | |
*使用水以外的液体要告知我们 | ||
液体温度 | 温度:10 ℃- 60 ℃ | |
*高温状态时使用要告知我们 | ||
空气温度 | 0℃-50 ℃无凝结状态 | |
测量范围 | 0 ml/min - 4000 ml/min | 0 ml/min - 1000 ml/min |
0 g/min - 4000 g/min (用水来做换算) | 0 g/min - 1000 g/min (用水来做换算) | |
精度 | ±1%RD | ±1%RD |
(水在室温下) | 800ml/min - 4000ml/min | 200ml/min - 1000ml/min |
| ±8ml/min, 0ml/min - 800ml/min | ±2ml/min, 0ml/min - 200ml/min |
重复线性度 | ±0.2% (液体温度为±0.5℃,平均为30秒) | |
分辨率 | 0.1ml/min | |
响应速度 | 10 msec | |
防护等级 | 室内使用(IP65) | |
电源 | DC 5V ±10% (DC 4.5V to 5.5V) | |
功率 | 小于1.5W | |
重量 | 350g(机身重量) |