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加速度传感器
ACC加速度传感器是微结构探针（MSS）的基本单元。为了确定仿形过程中的振动水平，MSS探头配备了一个高度灵敏的振动控制传感器。振动控制传感器使用压电陶瓷元件测量轮廓仪在一个方向上的水平加速度。轮廓仪的水平加速度在ACC传感器内部的悬臂结构处产生升力。提升力以及传感器的输出与加速度成比例。
ACC传感器安装在探头内部。在ACC壳体的底部是一个安装螺纹M4。黄铜圆柱体内部是压电元件和用于放大超高阻抗传感器信号的小型SMD前置放大器。
技术参数：
加速度传感器/SST-ISW
尺寸：直径10毫米，长度70毫米；
材料：黄铜；
响应时间：4ms；
原理：压电元件；
用于：MSS60、MSS90、MSS90L、MSS90LH、MSS90D、MSS90DH、MSS90DM、
MSS90DM。
