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| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 数量 | 品牌 | PCE-05参数 |
| 机身 | 一套 | 自产 | 600(W)×400(D)×310(H)mm |
| 腔体 | 一套 | 石英真空腔体 | 直径160*200mm |
| 真空泵 | 一组 | 飞越 | 4L/S |
| 角阀 | 一套 | 北仪 | 超高真空40KF |
| 流量控制器 | 二套 | Sevenstar华创 | 0-300mL/m |
| 射频电源 | 一套 | （13.56MHz） | 300W |
| PLC | 一套 | 三菱 | 包括PLC，A/D模组两组 D/A模块两组温度模块 |
| 电气系统 | 一套 | 三菱 | 接触器，继电器，屏蔽器等 |
| 触摸屏 | 一套 | 威纶 | 4.3寸 |
| 陶瓷封装 | 一套 | 进口 | 高频陶瓷 |
| 电源 | 1 | 自产 | 220V/50Hz |
