辉光光谱仪结合了辉光放电离子源和双聚焦高分辨率质量分析器，可以定性定量分析固体样品中包括C、N、O在内的几乎所有元素，是直接、快速分析高纯样品杂志含量和镀层材料元素组成的zui佳工具。

辉光光谱仪为固体中高级高纯度材料的直接分析定义新的标准。通过大限度减少校准和样品制备操作，可提高样品处理量并达到超低检测限，从而使 GD-MS 适合整块金属分析和深度剖析应用。
陶瓷和其他几种非导电粉末使用二次电极法进行分析，从而提供相同水平的灵敏度和数据质量。这使得 GD-MS 成为痕量金属分析的可靠标准方法。
存在于固体样品中的几乎所有元素都可进行常规检测和定量：许多元素的含量低于十亿分率 (ppb) 水平。
µs 脉冲式高流速辉光放电池
采用脉冲放电模式的高灵敏度离子源
广泛可调的溅射速率适用于快速进行整体分析和高级深度剖析应用
使用二级电极进行氧化铝粉末分析
双聚焦质谱仪
高离子传输率和低背景使得信噪比可达亚 ppb 级检测限
高质量分辨率可提供zui高水平的选择性和准确度：是*的分析结果的先决条件
十二数量级的自动检测系统
在一次分析中测定基体和超痕量元素，全自动检测器涵盖 12 数量级动态线性范围
直接定量测定基体元素 IBR（离子束比率）
高效率和简单易用的软件包
所有参数均由计算机控制
全自动调谐、分析和数据评估
自动 LIMS 连接性
远程控制和诊断
Windows 7
样品周转时间通常少于 10 分钟
能够在一次分析中测定基体元素到超痕量元素
深度剖析涵盖数百微米到一纳米的层厚度
小化基体效应，便于进行直接定量