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面议嵌入式膜厚仪-椭偏仪-膜厚测量仪-椭圆偏振光谱仪 产品描述:
嵌入式膜厚仪-椭偏仪-膜厚测量仪-椭圆偏振光谱仪 是测量当线性偏振光照射到样品时反射光(椭圆偏振)时偏振的变化。当s和p波根据样本分别改变其相位和反射幅度时,可以获得量化偏振变化的幅度比“tanψ”和相位差“cosΔ”。 tanψ,cosΔ称为“椭圆参数”,其光谱通过“光谱椭偏仪”进行测量。Otsuka FE-5000/5000S膜厚测量仪除了基本的光谱椭圆仪系统外,自动角度调节机构还可以针对各种厚度进行高精度的膜厚测量。 可拆卸的缓速器和旋转分析仪还拓宽了可供测量的选择范围,并提高了测量精度。测量范围包括:椭圆参数(tanψ,cosΔ),光学常数分析(和:折射率,k:消光系数),厚度分析。
产品亮点:
应用范围:
技术参数:
测量案例:
使用梯度模型进行ITO结构分析—应用FE0006。ITO(铟锡氧化物)是用于LCD显示器等平面显示器的透明电极材料。 ITO的成膜后,通过退火处理(热处理),可以提高ITO的导电性和色相。 那时,ITO的氧状态和结晶状态将发生变化。 该变化趋于相对于膜厚度逐步获得斜率变化,并且它不会变成光学组成均一的单层。 我们想介绍一种使用梯度模型来测量上下表面nk的倾斜度的情况。