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日本YAMATO雅马拓 DTN430C洁净厌氧高温气氛炉,洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
日本YAMATO雅马拓 DTN430C洁净厌氧高温气氛炉产品特点:
. zui高工作温度360℃和500℃。
. 采用耐热高性能高效过滤器,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
. 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量很低。
. 磁密封保持高气密性,采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
. 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
. 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
. 可选型号DTN430C/630C/450C/650C
安全性
. 门检测开关
. 温度过升防止器
. 氧浓度异常安全装置
. 氮气压力检测
. 氮气流量检测
. 冷却水流量检测
. 漏水传感器
. 过电流漏电漏电保护开关;
日本YAMATO雅马拓 DTN430C洁净厌氧高温气氛炉技术参数: