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扫描电子显微镜 (SEM) 不仅是开展科研工作所的工具，对于需要品控的制造工厂也是的。 在这些场景中，用户需要重复执行相同的观察操作，因此快速完成这些操作有助于提高工作效率。 JSM-IT510 新增的“简单 SEM”功能，用户可将 SEM 观察所需的“手动重复操作交给它”，从而更高效、更轻松地完成 SEM 观察。
NEW 简单 SEM
只需选择目标视野
“简单 SEM”支持日常工作
样品：电子元件
加速电压：15 kV，放大倍数：×50（上部） ×1,000（下部），信号： BE
样品交换导航
从样品交换引导至自动观察 安全简单！
1. 按照导航指南设置样品
测量样品高度
2. 准备抽真空观察
*1样品台导航系统（SNS）是选配件
*2大区域样品台导航系统（SNSLS）是选配件
*3样品室相机（CS）是选配件
3. 自动开始观察
真空完成后自动成像
Zeromag
轻松实现光学图像与SEM图像之间的无缝转换
Zeromag 功能简化了导航，提供从光学图像到 SEM 图像的无缝过渡。
SEM、光学图像和样品台示意图全部链接在一起，以获得分析位置的全局视图。
样品：菊石化石 加速电压：7kV 信号：BE
实时分析/实时引导图*2
1. SEM观察的同时掌握该区域的元素组成
实时分析是一项在图像观察期间实时显示 EDS 光谱或元素图的功能。此功能支持搜索目标元素并提供警示。
2. 简单分析
最多点击3次即可开始EDS分析
多种高级选项
1. NEW 低真空混合二次电子探测器（LHSED）*
该新型探测器可以收集电子和光子信号，并提供具有高信噪比和增强形貌信息的图像
2. NEW 实时3D*
新多向分割BE探测器*获得的图像可以显示为实时3D图像。
即使样品具有细微的表面起伏，实时3D也可以直观的将其清晰的表现出来，并获取其深度信息。
样品：螺钉 加速电压：15kV 放大倍数：x100 信号：BE
3. 蒙太奇
蒙太奇功能可以自动获取多个小视野的图像并将这些图像拼接成一张更大视野的图像。
样品：菊石化石
加速电压：15kV 放大倍数：x150 信号：BE 视野数：13 x 13
4. 显示信号深度
此功能实时显示被测样品的分析深度（近似数值），对元素分析非常有用。
SEM规格
| 分辨率 | 高真空模式：3.0nm（30kV），15.0nm（1.0kV）；低真空模式：4.0nm（30kV、BED） |
| 放大倍数 | x5 至 x300，000 |
| 电子枪 | 钨灯丝，全自动电子枪调准 |
| 加速电压 | 0.3kV~ 30kV |
| 探针电流 | 1pA~1uA |
| LV压力调节 | 10~650Pa |
| 物镜光阑 | 4档，带XY微调功能 |
| 自动功能 | 灯丝饱和点调整、电子枪合轴调整、电子束对中调整、聚焦/散光/亮度/衬度调整 |
| 样品尺寸 | 200mm直径 x 75mm高 |
| 样品台 | 大型全对中样品台 X: 125mm Y：100mm Z：80mm 倾斜：-10~90° 旋转：360° |
| 图像模式 | 二次电子像、REF像、成分像、形貌像、阴影像 |
| 图像尺寸 | 640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840 |
| 照片辅助功能 | 蒙太奇、简单SEM、Zeromag、实时3D |
| 操作支持功能 | 菜单（标准菜单/自定义菜单），测量、样品交换导航、信号深度功能、3D测量* |
| 操作系统 | Win10 64位 |
| 显示器 | 23.8英寸触控面板 |
| 语言切换 | 日语、英语、中文（可在用户界面上操作） |
| 真空系统 | 全自动、TMP、RP |
