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蔡司扫描电子显微镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
一、蔡司扫描电子显微镜EVO MA 25/LS 25技术参数
1、分辨率:2.0nm@30KV(SE with Lab6 option) 3.0nm@30KV(SE and W) 4.5nm@30KV(VP with BSD)
2、加速电压:0.2—30KV
3、放大倍数:5—1000000x
4、视野范围:6mm
5、X-射线参数:8.5mm WD,35度接收角
6、压力范围:10—400Pa (LS25-3000Pa)
7、工作室:420mm(φ)×330mm(h)
8、5轴试样载物台:X=130mm Y=130mm Z=50mm T=0-90°R=360°
9、试样高度:210mm,试样直径:300mm
10、系统控制:基于Windows XP 的SmartSEM
二、蔡司扫描电镜EVO MA 25/LS 25主要特点
1、的样品高度可达210mm
2、样品重量5Kg
3、的样品直径300mm
4、能在可变压力下操作
5、高亮度LaB6资源选择
6、光线套选择
三、蔡司扫描电镜EVO MA 25/LS 25技术优势
1. 在z轴上可机动化的移动50mm并且在X和Y轴上可移动130mm
2. 通用图像处理
3. 用X射线分析改进了LaB6成像质量
4. 支持两个空间的范围