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产品特点：
•高重复频率，能量稳定性好
•设计紧凑，体积小
•内部触发/外部触发
应用：光纤光栅刻写、精细加工、精细打标、光谱分析
规格
技术参数 | |||
介质气体 | ArF | KrF | XeCl |
波长(nm) | 193 | 248 | 308 |
单脉冲能量(mJ) | 8 | 15 | 10 |
平均功率(W) | 12 | 2.4 | 1.6 |
重复频率(Hz) | 200 | ||
脉冲宽度(FWHM, ns) | ～15 | ||
能量稳定性（sigma %） | 2 | ||
光斑尺寸(mm)(V*H) | 6×3 | ||
发散角(mrad)(V*H) | ～2×1 | ||
产品尺寸(mm)(L*W*H) | 712×300×520 | ||
重量(kg) | 60 | ||
电源要求 | 220V, 50Hz, 10A | ||
冷却方式 | 风冷 | ||
交互方式 | 控制系统：RS232（液晶屏/PC） | ||
外部触发：电信号 | |||
