规格

参数

XVM-2515CNC

XVM-3020CNC

XVM-4030CNC

XVM-5040CNC

工

作

台

X/Y轴行程

250*150

300*200

400*300

500*400

Z轴行程

有效空间245mm,调焦行程200mm，工作距离95mm

金属台面尺寸

450*320

450*350

550*450

700*600

玻璃台面尺寸

300*200

330*230

430*330

530*430

传动型式

传动型：进口X/Y/Z轴精密线性导轨和进口研磨级滚珠螺杆 

测量伺服驱动系统

光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0005MM（0.5UM）

       测量精度：≤3UM+L/200 重复精度：≤3UM+L/200

X/Y/Z三轴高性能伺服电机，双重闭环控制系统

影像系统

摄像机：日本彩色1/3″CCD 摄像机放大倍率30-230X

镜头：NAV高清连续变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X

可选配：0.5X物镜时，总放大倍率15-115X

可选配：2X物镜时，总放大倍率60-460X

光源系统

程控八区光源，表面光源与透射光源均为LED冷光源、寿命长、软件自动调节！

仪器外形尺寸（L*W*H）

650*850*1650

700*850*1650

800*900*1650

900*1050*1650

仪器重量（KG）

250

330

500

720