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CCQ气动超高真空插板阀
CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。
带反馈信号装置。
CCQ气动超高真空插板阀主要技术性能 适用范围： 105～1.3×10-7Pa 阀门漏率： ≤1.3×10-7Pa.L/S.（DN≤200） 适用温度： -30～+150℃ 阀门开启时阀板两侧的压差： ≤2.7×103Pa. 气源压力： 0.4～0.6MPa
≤6.7×10-7Pa.L/S.（DN≥250）
CCQ气动超高真空插板阀主要零件材料
阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管（轴封）、丁腈橡胶。
CCQ气动超高真空插板阀外形及连接尺寸（mm）
| Model | DN | A | H | D | Do | D1 | D2 | D3 | L | L1 | G | E | n-d | 法兰标准 |
| CCQ-50 | 50 | 60 | 92 | 89 | 72.4 | 61.6 | 55.6 | | 515 | 153 | 220 | 65 | 8-M8 | GB6071 |
| CCQ-63 | 63 | 65 | 105 | 114 | 92.1 | 82.6 | 76.6 | | 566 | 180 | 220 | 80 | 8-M8 | |
| CCQ-80 | 80 | 65 | 130 | 130 | 110 | 99 | 93 | | 603 | 200 | 220 | 80 | 16-M8 | |
| CCQ-100 | 100 | 70 | 152 | 152 | 130.2 | 120.7 | 114.7 | | 653 | 267 | 220 | 95 | 16-M8 | |
| CCQ-150 | 150 | 70 | 202 | 202 | 181 | 171.5 | 165.5 | | 771 | 350 | 270 | 95 | 20-M8 | |
| CCQ-200 | 200 | 80 | 251 | 253 | 231.8 | 222.3 | 216.6 | | 889 | 424 | 270 | 115 | 24-M8 | |
| CCQ-250 | 250 | 85 | 300 | 314 | 288 | 308 | 275 | 271 | 1127 | 574 | 350 | 140 | 24-M10 | JB5278 |
| CCQ-300 | 300 | 85 | 352 | 365 | 338 | 353 | 323 | 318 | 1197 | 613 | 420 | 140 | 32-M10 | |
| CCQ-320 | 320 | 85 | 372 | 385 | 357 | 379 | 344 | 340 | 1197 | 613 | 440 | 140 | 36-M10 | JB5278 |
| CCQ-400 | 400 | 110 | 456 | 497 | 454 | 480 | 440 | 436 | 1666 | 810 | 536 | 180 | 36-M12 | |
| CCQ-500 | 500 | 135 | 595 | 590 | 555 | 580 | 540 | 536 | 1835 | 870 | 640 | 220 | 40-M12 | |
| CCQ-630 | 630 | 135 | 690 | 700 | 658 | 680 | 639 | 635 | 1930 | 960 | 780 | 280 | 40-M16 | |
| CCQ-800 | 800 | 150 | 880 | 890 | 855 | 880 | 835 | 831 | 2200 | 1100 | 950 | 350 | 60-M16 |
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