MEMS加速度计压阻式PR7111A

MEMS加速度计压阻式PR7111A

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2023-02-21 12:09:04
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保定开拓精密仪器制造有限责任公司

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产品简介

7111A是一款全桥结构设计的压阻式MEMS,敏感元件是精密加工的MEMS芯片,利用一整块单晶硅通过刻蚀成型技术加工而成,包含惯性质量块和应变计,应变计组成一个可变四臂惠斯通电桥,并且硅片内有特殊的零点平衡电路

详细介绍

MEMS加速度计压阻式PR7111A

7111A是一款全桥结构设计的压阻式MEMS,敏感元件是精密加工的MEMS芯片,利用一整块单晶硅通过刻蚀成型技术加工而成,包含惯性质量块和应变计,应变计组成一个可变四臂惠斯通电桥,并且硅片内有特殊的零点平衡电路。

由于重量轻、尺寸极小和元件结构,传感器具有出色的共振频率、低阻抗、高过载、零阻尼无相移的特性。传感器的高共振频率使其在包含高频成分的冲击脉冲中存活,而这些高频成分对于具有更低共振频率的加速度传感器的惯性系统是破坏性的。

高共振频率和零阻尼使得加速度传感器可精确地响应具有快速上升时间的短持续时间冲击运动。同时频率响应低至直流或稳态加速度,对于长持续时间瞬态测量,该传感器也是理想选择。

主要产品特点:1.MEMS加速度计。2.零频直流响应输出。3.冲击量程200kg4.密封结构。5.mV输出。6.钛合金。7.双螺钉安装

主要应用领域:冲击试验

主要技术指标:

1.量程(±g):20k100k200k

2.灵敏度(μV/g):51.50.5

3.频率响应(Hz±1dB):0-100,000

4.冲击极限(±g):200,000

5.工作温度范围():-50120

6.重量(克):2

7.尺寸(mm):14×8×3.5

8.外壳材料:钛合金

9.输出接口:一体式线缆

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