性能特点

■ 采用无限远色差校正光学系统

■ 长工作距、明暗场两用平场消色差物镜，成像清晰、像面平坦

■ 配备反射式柯拉照明系统，为不同倍率的物镜提供均匀充足的照明

■ 正像三通观察筒，25°倾斜，极大的提高了观察的舒适性与操作的适应性

■ 配备了4寸带离合器的机械平台230X215mm，行程105mmX105mm，可快速移动

■ 舒适人机学设计，高刚性镜筒，“Y”型底座，调焦机构采用前置式操作控制，精微调同轴

■ 光源采用宽电压数字调光技术，具有光强调定与复位功能

■ 可选配摄影摄像装置、简易偏光装置、干涉滤光片、测微尺等附件，拓展应用领域

技术参数

宽视场铰链式三目观察筒

正像铰链三目观察筒，所成像的方位与物体实际方向相同，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于观察与操作。

大行程移动平台设计

采用6寸平平台设计，行程158×158mm，可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。

高精度物镜转换器

转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制。

安全、稳重的机架结构设计

工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。

明场观察（透射）

5W大功率LED，配以N.A.0.5聚光镜，可以透照明下，观察LCD彩色液晶显示屏，器件框架边缘等。

透射照明与反射照明为独立控制，即可同时亮，也可单独亮。

明场观察（反射）

远心坷拉反射照明系统，配以全新设计的无限远平场消色差长工作距金相物镜，从低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。

简易偏光观察

将起偏器镜及检偏镜插板插入照明的准确位置，即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和360°旋转式两种。

暗场观察

将暗场照明拉杆拉到准确位置，即可使用暗场功能，可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷，暗场功能只限于MX6R/MX6R（透反）机型。

DIC微分干涉观察

在正交偏光的基础上，插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术，可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。

5X、10X、20X专为DIC设计，使得整个视场的干涉一致，微分干涉效果非常出色，高倍物镜DIC效果也较好。