品牌
其他厂商性质
上海市所在地
项 目 | 性能指标 | 备注 | |
可测圆片尺寸 | 4,6,8 inch |
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X、Y工作台 | 行程 | X/Y:8 inch x 8 inch |
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分辨率 | 1μm |
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控制 | 进口导轨 |
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CHUCK | 平面度 | ≤10μm | 背面需要加电极(可选) |
晶圆固定方式 | 真空吸附,分档控制 | ||
Chuck Z轴(可选) | 行程 | 10mm |
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分辨率 | 1μm |
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Chuck θ轴(可选) | 微调范围 | ±7º (分辨率为0.1°) |
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Platen 平台 | 材料 | 非抛光型不锈钢+特种铝合金 |
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容量 | 6-8个DC针座或者4个RF针座 |
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微调旋钮 | 分辨率为1um 移动范围为25mm 导轨式移动 |
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升降 | 8mm行程的升降抬杆,可锁定 重复度精度为±2um |
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上、下片 | 方式 | 手动 |
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行程 | 90 mm |
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显微镜 | 配置 | (1)体式显微镜 目镜:20X 变倍范围:0.75X-5X 总放大倍数:15x-100x LED 光源照明 (2)金相显微镜 目镜:20x Zoom:1-2x 物镜:2x,10x,20x,50x 总放大倍数:20x-1000x 光纤光源系统 | 根据客户测试参数要求而定 |
行程 | X/Y: 2 inch x 2inch (分辨率:1um) Z: 2inch |
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抬起功能 | 显微镜可抬起,便于切换镜头。抬起后可以锁定,防止掉落。 |
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屏蔽罩(可选) | L1350*W900*H1300mm |
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防震桌(可选) | W*D*H:1100*800*900mm |
● 射频测试探头及电缆 ● 有源探头 ● 低电流/电容模块 ● 高压模块 ● 激光修复 ● 高清数字相机 ● 探针卡/封装/PCB板夹具 ● Hot Chuck
● 各种型号示波器 ● 各种品牌型号的源表 ● 是德B1500、4155、4156 ● 泰克4200 ●各品牌的网络分析仪
1 | 环境温度:18-28°C | ||||||||
2 | 相关湿度:20%-60% | ||||||||
3 | 现场要求:水平地板且足够承受设备重量 较小的机械震动 通风良好且无阳光直射 靠近电源设备 切勿靠近易爆、有毒气体 |
4 | 电源 | 系统: 无 | |||
配件: • 220V交流额定值,50Hz • 真空泵:220V/50HZ, 14W, 0.16A • 空压机:220V/50HZ,额定电流2.8A,输出功率580W • CCD:输入220V/50HZ,额定电流0.31A,输出12V/1.0A • 显微镜光源:220V, 50HZ, 200W | |||||
5 | 压缩空气 | 空气要求 | 气压 | 流量 | 连接器外径 |
洁净、干燥、无油 | 0.4-0.6 MPa (58-87 psi) | / | 6mm | ||
6 | 真空 | / | <400mbar absolute,-610mbar gage | 5 l/min(0.18 CFM)at SATP | 6mm |
7 | 外形尺寸 | 物理尺寸(WxDxH) | 717mm宽*758mm长*607mm高/717mm宽*758mm长*800mm高(含显微镜) | ||||||
屏蔽箱:1350mm长*900mm宽*1300mm高 | |||||||||
防震桌:1200mm长*800mm宽*800mm高 | |||||||||
货运尺寸(WxDxH) | 探针台及配件货箱:980 x 840 x 900mm | ||||||||
屏蔽箱货箱:1500 x 1050 x 1350mm | |||||||||
防震桌货箱:1200 x 810 x 720mm | |||||||||
8 | 重量 | 探针台重量 | 120 kg | ||||||
货运重量(带包装) | 探针台及配件货箱:150 kg | ||||||||
屏蔽罩(带防震台):300 kg |