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产品介绍
蓝宝石晶体生长炉为采用电阻加热方式的蓝宝石单晶体生长设备,利用泡生法原理可生长出30-65公斤重的蓝宝石晶体。设备中用于蓝宝石生长的真空腔体采用立式结构,真空腔体,包括上顶盖及底板都采用双层水冷却结构,上顶盖可开启。
工作原理
设备的工作原理是在真空环境中,通过电阻加热将三氧化二铝(AL203)原材料熔化,通过籽品引导,用精密上称重技术进行微量提升法(泡生法)生长优质光学单品的设备。
设备组成
设备主要由真空炉体、称重传感器、品体提升和旋转机构、热场系统、电控系统、自动控制系统、真空抽气机组、气路系统、水路系统、安装机台等部分组成。
设备特点:
1、采用“分子泵+机械泵”的真空无油系统,节能隆耗、操作方便、长品环境更加洁净,提高品体质量:2、进口定制全量程称重传感器,具有超高测量精度,保证品体成品质量:3、采用设计拉仲机构,控制精度高,抗力强:4、设计的热场结构,结合专业的长晶工艺,引品、生长过程易于操作、控制,成晶率高:
技术参数
炉内真空极限 | ≤9×10-5Pa |
长晶阶段真空度 | ≤5.0×10-4Pa |
熔炼温度 | 1650℃ |
炉体 | 炉体内尺寸(直径*高):750×1020(±5)m 炉体材料:内筒316L.,外筒304L 炉盖升降行程:上下120mm旋转180 |
籽晶杆
| 材质:主体为不锈钢和铜焊接 生长晶体:允许生长重量30kg60kg 转速/精度:1-201pm士5% 提拉速度连续可调范围和精度:/0.05-2mm/h土2%FS,电源波动小于±5% 快提拉速度 连续升降可:10-100mm/min 称重量程精度:0-100kg/±10g |
压缩空气 | 压力:0.70kgf/cm2 流量:2~7/min |
氩气 | 压力:6~7kgf/cm2 用量:0.5m3/周期 |
冷却水 | 入口压力:2.0±0.5kg/cm2 入,出口压力:<2kg/cm2 入口水温:10℃<温度<20℃ 流量:6m3h |
电控系统电源 | 电压:380VAC 功率:150KW 频率:50HZ 相数:3 |
真空配置 | 分子泵、机械泵、闸板阀、真空管道 |
真空测量系统 | 真空管道真空测量采用双控制保险配置测量范围:大气压到6×10-7Pa |
自动控制系统 | PAC全自动运行程序 |
气路系统 | 四路氩气进路系统,炉膛氩气为两级充气系统 |
水冷却系统 | 炉体发热部分冷却系统,设有总进总出水管各一路,总进水设有水压传感器,主要工作回路设有水流和水温传感器 |
设备占地面积 (长×宽×高) | 2240×1130×3020mm3 |