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| 型号 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | ||
| 行程(mm)* | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | ||
| 外型尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | ||
| 重量(kg) | 240 | 250 | 310 | ||
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | ||
| 测量精度 | XY轴** | E2=(1.5+L/300)μm | E2=(1.9+L/300)μm | ||
| Z轴*** | E1=(5.0+L/200)μm | ||||
| 速度 | XY轴 | 500mm/S | |||
| Z轴 | 100mm/S | ||||
| 光栅尺 | 0.1μm Renishaw光栅尺 | ||||
| 导轨 | THK | ||||
| 图像传感器 | 高清晰彩色专用工业摄像机 | ||||
| 光源 | 轮廓光 | LED冷光源，256级亮度可调 | |||
| 可升降表面光 | 3内环3外环8区LED冷光源，各段独立操作，256级亮度可调，外3环可程控升降，提供45°到75°多种落射角度照明 | ||||
| 同轴光 | LED冷光源，256级亮度可调 | ||||
| 光学镜头 | 12.5:1连续变倍 | ||||
| 放大倍率**** | 光学放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：18～230× | ||||
| 软件 | Vispec测量软件（VMU版） | ||||
| 运动控制 | 自主的CNC直流伺服系统 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作环境 | 温度20℃±2℃，湿度30～80% | ||||
| 振动<0.002g，低于15Hz | |||||
| 电源 | 200~240Vac ，50/60Hz，单相，700W | ||||
* Z轴标配有效测量行程135mm，可加高至300mm。
** L表示测量长度，以毫米为单位。
*** Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
**** 放大倍率为近似值，具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关；客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜，实现影像放大倍率9～115×或36～460×。
◆ 超精密全自动测量，四轴CNC控制；
◆ 精密花岗岩机台，精度高、稳定性好；
◆ 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统；
◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；
◆ TZTEK自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆ 程控式6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432等。
