MarSurf XCR 20 轮廓测量驱动器 PCV200. 技术参数

扫描长度（X方向） 0.2mm至200mm
测量范围（Z方向） 50mm适用于350mm测臂
25mm适用于175mm测臂
测量系统（X方向） 高精度光栅测量系统

（出厂经激光干涉仪校准）
测量系统（Z方向） 电感传感器，高精度，高线性度
0.38μm（15μm）适用于

175mm（6.89in）测臂
测点距离（X方向） 1.0μm至8.0μm
行程偏差 ＜1μm
测力（Z方向） 1mN至120mN向下和向上（可在软件设定）
行程升角 向下降低时不超过88°，向上上升时不超过77°
测量速度（X方向） 0.2mm/s至4mm/s
速度调整间距 0.1mm/s
接触速度（Z方向） 0.1mm/s至1mm/s

定位速度及 0.1mm/s至10mm/s可调
返回速度（X方向）

定位速度（Z方向) 0.2mm/s至8mm/s
测杆长度 175mm和350mm
测针半径 25μm
X+Z=方贤定位精度 5μm
驱动器在测量 ±45°
立柱上调整角度

XZ二维长度 ±（2+L/50）μm
测量误差

圆弧面接触误差 1.5μm

角度测量误差 U95<3.0min
U95<±3minR0.5mm-10mm
U95<±5minR10mm-100mm
半径测量误差 U95=±7μm
R100mm-1000mm

MarSurf XCR20 粗糙度测量驱动器 GD25. 技术参数

扫瞄长度 max. 25.4 mm (1.00 in)
扫描速度 0.1 mm/s and 0.5 mm/s

(0.0039 in/sａnd 0.020in/s)
测量误差 ±2%
(+X) 方向定位速度 0.5 mm/s (0.020 in/s)
(-X) 方向返回速度 approx. 2 mm/s (0.079 in/s)
Z 方向调整范围 max. 4 mm (0.16 in)
Z 方向接触工件速度 approx. 0.3 mm/s (0.012 in/s)

Rz 残 余 轮 廓 1) 2) at 20 nm (0. in)
0.1 mm/s (0.0039 in/s)

Rz 残余轮廓 1) 2) at 30 nm (0.0000012 in)
0.5 mm/s (0.020 in/s)

直线度误差 0.2 μm/25.4 mm (0.0000079in/1.00 in)
角度调整范围 0.5° (9 μm/mm (0.00035 in/0.039in))
限位开关 below, in front, above, below
返回始点重复性 < 0.05 mm (0.0020 in), 0.02 mm(0.00079 in) 2K
操作位置 任意位置
测头类型 适用MFW250，适用所有带接头套筒的 R pick-up
V 型底座 适用圆柱形工件30mm...30mm....30mm....30mm....
支撑脚 适用于平面或圆柱形工件> 72 mm (> 2.83 in)