圆度测量单元， C-轴

圆度误差 (µm+µm/mm 测量高度)**

0.02 + 0.0005

圆度误差 (µm+µm/mm 测量高度)*

0.01 + 0.00025

轴向跳动 (µm+µm/mm meas. radius)**

0.04 + 0.0002

轴向跳动 (µm+µm/mm meas. radius)*

0.02 + 0.0001

调心调平工作台

手动/自动

工作台直径 (mm)

285

工作台承重， 无偏心 (N)

600

转速 (rpm) 50 Hz/60 Hz

1to15

垂直直线测量单元， Z轴

定位行程 (mm)

-

电机驱动测量长度（mm）

350/500

直线度误差/100 mm测量长度 (µm)**

0.15

直线度误差/全行程长度(µm)**

0.3/0.4

平行度误差Z/C轴，沿测头扫描方向(µm-mm)

0.5/350

0.8/500

测量速度(mm/s)

<0.1to10

定位速度(mm/s)

<0.5to100

水平直线测量单元， X轴

定位行程 (mm)

-

电机驱动测量长度（mm）

180/280

直线度误差/100 mm测量长度 (µm)**

0.4/0.8

直线度误差/全行程长度(µm)**

0.8/180

0.8/280

垂直度X/C轴(µm)

1/180

2/280

定位速度 (mm/s)

<0.5to30

测量速度

<0.5to10