圆度测量单元， C-轴

圆度误差 (µm+µm/mm 测量高度)**

0.05 + 0.0006

圆度误差 (µm+µm/mm 测量高度)*

0.025 + 0.0003

轴向跳动 (µm+µm/mm meas. radius)**

0.04 + 0.0006

轴向跳动 (µm+µm/mm meas. radius)*

0.02 + 0.0003

调心调平工作台

手动

工作台直径 (mm)

160

工作台承重， 无偏心 (N)

200

转速 (rpm) 50 Hz/60 Hz

5/6

垂直直线测量单元， Z轴

定位行程 (mm)

300，手动

电机驱动测量长度（mm）

-

直线度误差/100 mm测量长度 (µm)**

-

直线度误差/全行程长度(µm)**

-

平行度误差Z/C轴，沿测头扫描方向(µm-mm)

-

测量速度(mm/s)

-

定位速度(mm/s)

-

水平直线测量单元， X轴

定位行程 (mm)

手动180

电机驱动测量长度（mm）

-

直线度误差/100 mm测量长度 (µm)**

-

直线度误差/全行程长度(µm)**

-

垂直度X/C轴(µm)

-

定位速度 (mm/s)

-

测量速度

-