u  体积电阻率试验仪

电阻率是半导体材料最重要的特性参数之一，通过对其测量，可以掌握样品中杂质浓度的分布情况。因此，在半导体工业中，必须快速、准确地对硅晶圆片电阻率进行测量和分档。 本文首先详细分析了四探针电阻率测试原理，在比较了几种测试方法的基础上，确立了矩形四探针法，与国内厂家现在普遍采用的直线四探针法相比，用矩形四探针法可以获得更小的测量微区，而且其游移偏差也小于直线四探针测量所产生的偏差。 在此基础之上，将直流四探针测试方法与嵌入式系统相结合，设计出数字化智能四探针电阻率测试仪，详细说明了各部分电路的组成及功能，以及相应的软件设计。该系统依据直流四探针法原理，采用由16位单片机MSP430控制的高稳定度可编程恒流源电路和低温漂、低噪声可编程放大器电路，以及自动量程转换电路等部分构成测量回路，使得该仪器能够自动识别待测样品的电阻率，并根据电阻率大小自动切换量程，既可以独立工作，又可以通过RS-232接口与PC机通信，大大提高了该测试仪的数据处理能力和测量精度，而且操作十分方便高效。该测试仪有较高的实用价值和发展前景。

u  符合标准：

GB/T31838第2.3.4部分测试要求、

GB/T 1410《固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法》（等同IEC 60093）、

GB/T 10064《测定固体绝缘材料绝缘电阻的实验方法》（等同IEC 60167）、

GBT2439-2001硫化橡胶或热塑性橡胶导电性能和耗散性能电阻率的测定、

GBT1692-2008 硫化橡胶绝缘电阻率的测定、

GB/T3048.5电线电缆电性能试验方法 绝缘电阻试验等而设计和制造的，

u  主要技术参数：

型号： ZST-212电阻率测试仪。

电阻范围：（104 ～10 17）Ω。

电阻测量误差：  1×104～1×1011 Ω±5%；

1×1011～1×1012 Ω±10%；         

1×1012以上±20%；

测试电压：10V、50V、100V、250V、500V、1000V。

测试电压(见表1)、测量范围(见表2)

表1

表2 不同试验电压下各采样电阻档位对应的阻值测试范围表

使用条件

①环境温度： 0～40℃

②相对湿度：≤70%

③供电电流：交流220V ±10%  50Hz

仪器可连续工作8小时

消耗功率：约 10W

u 体积电阻率试验仪 标准配置：