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电阻率:
电阻率是半导体材料最重要的特性参数之一,通过对其测量,可以掌握样品中杂质浓度的分布情况。因此,在半导体工业中,必须快速、准确地对硅晶圆片电阻率进行测量和分档。 本文首先详细分析了四探针电阻率测试原理,在比较了几种测试方法的基础上,确立了矩形四探针法,与国内厂家现在普遍采用的直线四探针法相比,用矩形四探针法可以获得更小的测量微区,而且其游移偏差也小于直线四探针测量所产生的偏差。 在此基础之上,将直流四探针测试方法与嵌入式系统相结合,设计出数字化智能四探针电阻率测试仪,详细说明了各部分电路的组成及功能,以及相应的软件设计。该系统依据直流四探针法原理,采用由16位单片机MSP430控制的高稳定度可编程恒流源电路和低温漂、低噪声可编程放大器电路,以及自动量程转换电路等部分构成测量回路,使得该仪器能够自动识别待测样品的电阻率,并根据电阻率大小自动切换量程,既可以独立工作,又可以通过RS-232接口与PC机通信,大大提高了该测试仪的数据处理能力和测量精度,而且操作十分方便高效。该测试仪有较高的实用价值和发展前景。
概述:
绝缘材料体积电阻率试验仪(厂家)既可测量高电阻,又可测微电流。采用了美国In公司的大规模集成电路,使仪器体积小、重量轻、准确度高。以双3.1/2 位数字直接显示电阻的高阻计和电流。量限从1×104Ω ~1×1018 Ω,是目前国内测量范围zui宽,准确度zui高的数字超高阻测量仪。电流测量范围为2×10-4 ~1×10-16A。机内测试电压为10/50/100/250/500/1000V任意可调。绝缘材料的体积电阻率和表面电阻率测试仪具有精度高、显示迅速、性好稳定、读数方便, 适用于防静电产品如防静电鞋、防静电塑料橡胶制品、计算机房防静电活动地板等电阻值的检验以及绝缘材料和电子电器产品的绝缘电阻测量。除能测电阻外,还能直接测量微弱电流。
高阻计法测定高分子材料体积电阻率和表面电阻率
高分子材料的电学性能是指在外加电场作用下材料所表现出来的介电性能、导电性能、电击穿性质以及与其他材料接触、摩擦时所引起的表面静电性质等。最基本的是电导性能和介电性能,前者包括电导(电导率γ,电阻率ρ=1/γ)和电气强度(击穿强度Eb);后者包括极化(介电常数εr)和介质损耗(损耗因数tgδ)。共四个基本参数。
种类繁多的高分子材料的电学性能是丰富多彩的。就导电性而言,高分子材料可以是绝缘体、半导体和导体,如表1所示。多数聚合物材料具有电绝缘性能,其电阻率高、介电损耗小,电击穿强度高,加之又具有良好的力学性能、耐化学腐蚀性及易成型加工性能,使它比其他绝缘材料具有更大实用价值,已成为电气工业的材料。高分子绝缘材料必须具有足够的绝缘电阻。绝缘电阻决定于体积电阻与表面电阻。由于温度、湿度对体积电阻率和表面电阻率有很大影响,为满足工作条件下对绝缘电阻的要求,必须知道体积电阻率与表面电阻率随温度、湿度的变化。
表1 各种材料的电阻率范围
材料 | 电阻率(Ω·m) | 材料 | 电阻率(Ω·m) |
超导体导体 | ≤10-810-8~10-5 | 半导体 绝缘体 | 10-5~107; 107~1018 |
除了控制材料的质量外,测量材料的体积电阻率还可用来考核材料的均匀性、检测影响材料电性能的微量杂质的存在。当有可以利用的相关数据时,绝缘电阻或电阻率的测量可以用来指示绝缘材料在其他方面的性能,例如介质击穿、损耗因数、含湿量、固化程度、老化等。表2为高分子材料的电学性能及其研究的意义。
表2 高分子材料的电学性能及测量的意义
电学性能 | 电导性能 | ①电导(电导率γ,电阻率ρ =1/γ) |
②电气强度(击穿强度Eb) | ||
介电性能 | ③极化(介电常数εr) | |
④介电损耗(损耗因数tanδ) | ||
测量的意义 | 实际意义 | ①电容器要求材料介电损耗小,介电常数大,电气强度高。 |
②仪表的绝缘要求材料电阻率和电气强度高,介电损耗低。 | ||
③高频电子材料要求高频、超高频绝缘。 | ||
④塑料高频干燥、薄膜高频焊接、大型制件的高频热处理要求材料介电损耗大。 | ||
⑤纺织和化工为消除静电带来的灾害要求材料具适当导电性。 | ||
理论意义 | 研究聚合物结构和分子运动。 |
绝缘材料体积电阻率试验仪(厂家)参数配置:
序号 | 项目 | 参数 |
1 | 电阻测量范围及误差 | 1×104~1×1017 Ω |
1×104~1×108 Ω±2% | ||
1×108~1×1010 Ω±5% | ||
1×1010~1×1012 Ω±10% | ||
1×1012~1×1014 Ω±20% | ||
2 | 直流测试电压 | 10/50/100/250/500/1000V |
3 | 直流电压误差 | ±2% |
4 | 电源 | 220V 10A 50Hz |
5 | 消耗功率 | 约10W |
6 | 环境温度 | 0~40℃ |
7 | 相对温度 | ≤70% |
8 | 外形尺寸 | 370mm×450mm×200mm |
9 | 重量 | 约13kg |
序号 | 配置 | 数量/单位 |
1 | 仪器主机 | 1台 |
2 | 电源线 | 1根 |
3 | 测试线 | 3根 |
4 | 接地线 | 1根 |
5 | 说明书 | 1份 |
6 | 合格证 | 1张 |