1.电阻

10^-5～2×10^5Ω

10^-6～2×10^5Ω

2.方块电阻

10^-5～2×10^5Ω/□

10^-6～2×10^5Ω/□

3.电阻率

10^-6～2×10^6Ω-cm

10-7～2×106Ω-cm

4.测试电流

0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA， 10mA，100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.电流精度

±0.1%

6.电阻精度

≤0.3%

7.PC软件操作

PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、

报表生成等

8.压力范围选购：

探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调

9.探针

针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%

圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制

10.可测晶片

尺寸选购

晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；

方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.加压方式

测量重复性：重复性≤3%

13.安全防护

具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.测试环境

真空

15.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W

16.选购项目

电脑和打印机

（选购）

（选购）