产品特性：

◆无可移动部件

◆支持多种通讯协议

◆容易安装及维护

◆高精度、高稳定性、非常低的零漂

◆可测多种气体

◆一体液晶显示和按键操作

◆内置温度和压力传感器

◆同时显示气体瞬时流量和累积流量

应用领域：

——分析仪器          ——生物技术 

——激光焊机          ——真空镀膜 

——干刻（RIE/DRIE）       ——气相色谱分析

——过程自动化           ——燃料电池

技术参数：

流量规格： 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM

                  0~1、2、5、10、20、30、50SLPM

准确度： ±0.5%F.S.

重复精度： ±0.2%F.S.

流量控制范围： 0.5%~99%F.S.

使用温度： -20~65℃

使用湿度：0~98%（无凝露）

耐压： 3Mpa

响应时间：<100mS

供电电压：15~40VDC

功率：<1.2W

通讯方式：RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA

气路部件材质：SUS304/SUS316L

密封件材质：氟橡胶

气路接头：快拧、快插、卡套、VCR

产品尺寸：

外接显示器尺寸：

电气连接:DB9

产品选型：

 例:MFC330_ RS485_300sccm _  6mm快拧 _ S