由于露点仪运用了增益回归，零点自动校准，温湿度传感器三种技术，从而在低湿或者腐蚀化学物质气体分子的环境下，露点仪也能准确地测量出相对湿度，并且计算出对应的露点。在测量高于负60度的露点时露点仪的精度保在正负2度以内，精度稍低时，露点仪可抵达-80度的露点。

现今测量露点普遍采用的方法有三种：

一种，在测湿范畴有60年的理论阅历，其应用聚合物薄膜开发的特地用于测量低露点的传感器性能稳定，不受凝结水、大多数化学物质的影响，并且由于运用的露点仪采用了零点自动校准，增益回归两项技术使得露点测量范围宽，精度高，长期稳定性好，性价比佳。

二种，冷镜法，金属氧化物法和聚合物法。冷镜法可以在很宽的测量范围内取得较高的精度，但由于它的光学测量原理的局限性使其易受镜面污染物和灰尘的影响从而影响精度并且不易区分霜点及露点，为抑制上述缺陷，测量系统常常附加许多额外设备镜面清洗、防护等功用，构成整套设备比较昂贵，此种测量方法常常用于精度恳求高且具有良好的操作、维护的条件，照实验室，关于大多数在线测量则维护本钱较高。

三种，金属氧化物传感器，包括AL2O3传感器用于工业过程控制中的低露点测量，正确运用时可以测得很低的露点，缺陷是长期稳定性差，由于测湿敏器件本身构成的漂移使得频繁的标定工作不可少，传感器不能在线标定，大多数情况下要送到原厂标定且标定本钱较高，这将会影响日后的准确测量、正常消费，增大维护、工作量，而且金属氧化物传感器在高湿或冷凝的情况下一旦受损，其功用将无法恢复。

温湿度传感器由两部分组成：电容型聚合物薄膜测湿传感器及电阻型测温传感器，测湿传感器测量被测气体中的水分子，从而测出相对湿度;测温传感器测量测湿传感器的表面湿度，仪器内置的微处置从这两个参数计算出露点。测湿、测温传感器经过金属膜背靠背紧密靠近，这样一方面使得测温传感器能够准确测得湿度传感器所处温度，另一方面经过金属膜的作用大大减小了由于外部电场作用产生的感应电容，从而进步了测量精度，在低湿情况下，反响时间为40-240秒，取决于湿度变化方向和大小，测量高湿时反响时间较短。耐温范围为-40-+180度，承压范围为0-20bar.其本身耐腐蚀性也突出，关于碱性和弱酸性气体有较好的顺应，通常在低湿的情况下，相对薄膜湿敏传感器要+2度的露点精度所能测得的低露点为-9度，应用Vaisal的传感器及自动校准技术，在保+2度露点温度精度的同时可测得的低露点为-60度，在精度稍低的情况下可抵达-80度的露点。

这是由于自校准技术使得准确的相对湿度测量成为可能。在自校准过程中，测温电阻将探头加温到高于环境温度10度后自然冷却，在冷却过程中仪器测量实时温度和相对湿度。从公式RH=RH0+PW/PWS中(其中RH为仪器测量值。RH0为直线在Y轴上截距。PW为此刻待测气体中水气分压，假定是定值。PWS为饱和水气压值。1/PWS为、温度的函数)可见由几组不同温度时的RH、1/PWS值可推出一拟合直线，并推出该拟合直线在Y轴上的截距RH?即温度无量高时，传感器所测相对温度偏移开零点的值。