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精密在线轮廓检测系统,轮廓检测系统,在线检测系统
激光位移传感器 （2D）
轮廓／截面
瞬间测量／判定截面
可在特定的范围内实时测量截面面积。这样便可以对轮廓和截面进行质量控制。
角度／交点／位置
自动计算角度／交点
可根据表面轮廓实时测量／判定角度、交点及边缘位置。
宽度／间隙
透过特定测量模式测量宽度／间隙
根据表面轮廓测量宽度及间隙。在进行高精度测量的同时不受目标物颜色的影响。
高度／变形
在特定的范围内多点测量高度
可测量平均高度、zui大高度及zui小高度。透过计算特定点的高度可测出变形或膨胀度。
分辨率：zui高0.05um
测量速度：zui高9400Hz
探头线性度：zui高0.5um
扫描速率：zui高1120m/min
