硅基传感器系统公司的MEMS微机电陀螺为震动结构VSG类型，由深反应离子蚀刻技术（DRIE）制成八对互相支撑且对称的“狗腿”型环，这种蚀刻技术与环形具备很好的热稳定性和公差限值与精度平衡性。与其他类型MEMS相比，避免了微小间隙造成的静摩擦力干扰。这种硅基传感器公司里程碑式的设计，使产品的线性偏移与比例因子指标对温度变化和震动免疫。另一个好处是天然的对“加速度诱导率误差”免疫，避免了MEMS的G值敏感性。
执行元件与传感器位于环形结构上表面并连接到侧面引线盘，驱动蚀刻环激发共振，探测无论是因为科里奥利力或者是执行元件驱动造成的径向运动。融合传感器技术与二次拾取传感器的使用极大的提高了信噪比，这种低噪声设计提高了零偏稳定性和角度随机游走ARW精度。
公司介绍：
硅基传感器系统公司是一家高度专业的陀螺与惯性传感器工程设计与制造公司，位于英国西南部的普利茅斯，该市为英国传统的基地，具备悠久的精密设备制造传统。公司成立于1999年，由联合技术航天系统公司（UTC Aerospace Systems）和住友精密工业（Sumitomo Precision Products）各占50%合资组成。公司具备联合技术公司继承的斯佩里陀螺技术公司惯性原件设计能力和住友的硅基精密加工能力。经过15年的发展，硅基传感器系统公司已经成为可靠的陀螺与加速度计制造企业。
