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定制产品超洁净机械手
全自主开发集成电路装备领域产品：
u硅片自动化传输装备（Sorter）： 自主开发、客户定制化 u设备机械前端（EFEM）： 自主开发、客户定制化 u机械手（Robot）： 自主开发、大气&真空 u对准器（Aligner）： 自主开发 u载盒台（Load Port）： 自主开发 u核心传感模块（E84/Senor）： 自主开发 u整机装备控制系统软件（OS）： 自主开发 u天车系统 参考价￥10 -
定制产品超洁净真空机械手
全自主开发集成电路装备领域产品：
硅片自动化传输装备（Sorter）： 自主开发、客户定制化
设备机械前端（EFEM）： 自主开发、客户定制化
机械手（Robot）： 自主开发、大气&真空
对准器（Aligner）： 自主开发
载盒台（Load Port）： 自主开发
核心传感模块（E84/Senor）： 自主开发
整机装备控制系统软件（OS）： 自主开发 参考价面议