芯等清洁处理，也适用于塑料、电缆、纺织行业清洁之用。 真空清洗炉利用高分子聚合为在300℃左右时可熔融，高于300℃隔绝空气可裂解焦化，高于400℃在有少量空气并有一定真空度的环境中可*氧化的特性，先将粘有高分子污物的工件加热到300℃（根据工艺要求拟定），使工件上数量较多的高分子聚合物溶化后流淌到炉膛下部的收集容器内，然后再将炉温升到400-500℃，同时打开真空泵，并通入少量新鲜空气，使剩余的聚合物充分氧化，生成的二氧化碳，经水喷淋后通过水环式真空泵抽吸，和水一起排出炉外。
真空炉包括真空清洗炉体、炉盖及所带的废料收集系统、真空系统、密封系统、由微机控制工作的电加热系统、水冷却系统和清洗物装卸系统。
真空清洗炉按照结构可以分为：轨道式真空清洗炉、井式空清洗炉、立式空清洗炉、卧式空清洗炉、大容量真空清洗炉等。

真空清洗炉用于清洗化纤行业涤纶、丙纶、无纺布等行业的普通喷丝板、异形喷丝板、细孔丝板、组件壳体，也可用于清洗过滤芯、过滤棒、组件、模头等。
真空清洗炉具有对环境污染小，清洗的喷丝板板面干净，丝孔流畅，并可以延长喷丝板的使用寿命以及工作时间短、节能、操作简便、清洗效果好、自动化程度高等优点。是取代三甘醇清洗炉、盐浴炉的更新换代产品。
真空清洗炉亦适用于塑料行业模头、滤芯的清洗。