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UP1L研用超高纯气体纯化器
委托上海正帆科技公司对 GRINM-UP1L 氩气纯化器性能检测结果
气体类型 | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2O | 单位 |
原料气 | 0.074 | <0.01 | 0.248 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | 未测试 | ppm |
纯化后 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.033 | ppm |
部分用于现场照片：
山西中升钢厂光谱仪配套UP10M使用现场，分析用气体纯度达到光谱仪检测所需的绿色。
北京科技大学CVD设备用的多台UP1L氩气纯化器
西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氩气纯化器
搭载氢气纯化的电解水制氢/在线纯化系统，用于人造钻石生产高纯氢场合
UP1L 超高纯气体纯化器
产品参数：
l 原料气纯度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2
l 产品气纯度：≥99.99999%
l 产品气杂质含量：
H2O ≤5ppb
O2 ≤10ppb
N2 ≤10ppb（原料气非 N2 ）
H2 ≤10ppb（原料气非 H2 ）
CO ≤10ppb
CO2 ≤10ppb
CH4 ≤10ppb
NMHC ≤10ppb
l 大工作流量：1000sccm
l 内置颗粒过滤器：2 微米
l 软件功能：可显示多达7种工作状态或故障报警，并具有寿命计时及提醒功能
l 扩展功能：多台纯化器可同一终端批量控制，也可与其他设备集成使用
l 大工作压力：1.0MPa
l 进出气接口：1/8″卡套或VCR 接头
l 纯化柱及管路：EP级316不锈钢
l 电源电压及功率：220V，0.8kw
l 产品外形尺寸：170×160×320mm
