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氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。
| 项目 | 指标 | |||
| 高纯氪 | 纯氪 | |||
| 一等品 | 合格品 | |||
| 氪气（Kr）（体积分数）/10-2 | ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| 氮（N2）（体积分数）（N2）/10-6 | ≤ | 2 | 8 | 20 |
| 氧（O2）+氩（Ar）（体积分数）/10-6 | ≤ | 1.5 | 5 | 5 |
| 氢（H2）（体积分数）/10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| 一氧化碳（CO）（体积分数）/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.4 | 1 |
| 二氧化碳（CO2）（体积分数）/10-6 | ≤ | 0.4 | 0.8 | 1 |
| 甲烷（CH4）（体积分数）/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.8 | 1 |
| 水分（H2O）（体积分数）/10-6 | ≤ | 2 | 3 | 5 |
| 氙气（Xe）（体积分数）/10-6 | ≤ | 2 | 20 | 50 |
| 氟化物（CF4）（体积分数）/10-6 | ≤ | 1 | 10 | 15 |
