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直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。全新的IO模块，具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁，传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能，。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求，Z轴行程，耐高温耐腐蚀特性等。
参数：
本体重量 | 50KG |
适用晶圆尺寸 | 300mm/200mm/150mm/100mm |
负载 | ＜500g |
电源输入 | AC电压:AC208V AC频率：50HZ/60HZ |
电源范围 电压波动范围 | 单相交流208V +10%，-15% |
节拍 | R axis＜3（Home to Extend703mm） |
θ axis＜2.5s(180°)(根据实际摩擦力) | |
Z axis＜1.8s（90mm） | |
重复定位精度 | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.003°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率 | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度 | 5X10-9Torr |
适用温度 | 法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃ |
行程 | R轴703mm Z轴90mm |
洁净度 | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
复合运动 | 支持 |
PC远程操作软件 | 支持 |
通信接口 | Ethernet/串口 |
IO互锁 | 支持 |
安全区 | 支持 |
碰撞保护 | 支持 |
