EMS 650/EMS 650T-EMS 650/EMS 650T大样品离子溅射镀膜仪-海德创业（北京）生物科技有限公司手机版

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又称三靶大样品室离子溅射镀膜仪，EMS 650配套装有直径60mm、厚度0.1mm的金靶（用户可以选择其它材质的靶材）；面板式控制，*的人性化设计；溅射参数可预先设置，包括控制排气的电磁阀（自动控制），可以获得精确的可重复的镀膜厚度；溅射头互锁，EMS 650和EMS 250镀碳配件通用；EMS 650可控制独立的真空泵。下图示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基础上加装了一个功率为60L/秒的涡轮增压泵，能够获得更高更洁净的真空。

性能特征：

全自动控制
低能冷却系统（（功率是6W）
低电压溅射（100V，DC;每分钟温度升高不到2°C）
镀膜厚度精确（2nm金粒）
精确的可重复性
镀膜厚度20nm或200A（扫描电镜）
微电子控制
三个靶台同时溅射
聚碳酸脂安全外壳

仪器参数：

仪器尺寸：	450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H）
工作腔室	硼硅酸盐玻璃: 225mm（Dia.） x 125mm（H）
重量：	24Kg
靶台：	3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚
旋转样品台：	155mm Dia. 距离靶台40 to 50mm可调
真空范围：	ATM 1x10-2 mbar
镀膜电流范围：	0-100mA
镀膜速率：	0-20nm/minute
溅射镀膜时间：	0-4 minutes
电源：	230 volts 50Hz （zui大8 amp 包括泵）
维护：	氩气通常 4 psi
真空泵（*）	整套真空泵软管和油气过滤器135L/Min

订购信息:

货号	产品名称	规格
91020	EMS 650 Sputter Coater complete with Targets （3） x 60mm Dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard	台
91020T	EMS 650T Sputter Coater	台
91025	Rotary Vacuum Pump

产品简介

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