EMS 7620EMS 7620 迷你型离子溅射镀膜仪EMS 7620 “Mini” Sputter Coater
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EMS 7620是一款紧凑、实惠型SEM离子溅射镀膜仪，镀碳附件EMS7620-CF作为可选件为镀碳时所需。该款设备具备辉光放电功能，这对于TEM的碳膜或其它材料样本表面修饰非常有帮助。
| 整机尺寸 | 340mm W x 130mm D x 250mm H （unpacked）不包括腔室 |
| 现场条件： | |
| 电气要求 | 240VAC - 13A, 频率50Hz，额定功率250VA,真空泵的额定输出是230V 、10A |
| 溅射气体 | 氩气（零级），配有二级压力调节器，工作气体压力在5-10psi |
| 真空泵 | 真空压力不低于10-2mbar ，流量50L/m 或 90L/m 的二级旋转真空泵 |
| 碳蒸发附件（可选） | EMS 7620-CF 碳蒸发附件与EMS7620可以配套使用 |
| 货号 | 产品 | 规格 |
| EMS 7620 | EMS 7620 迷你型离子溅射镀膜仪EMS 7620 “Mini” Sputter Coater 包含： 91017-AP gold/palladium （Au/Pd） target, 1m length of 12mm bore flexible vacuum hose, 1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump, 1 x rotary pump plug, comprehensive operating instructions | each |
| 91017-Au | 金靶Gold （Au） target | each |
| 91017-AP | 金钯Gold/palladium （Au/Pd） target | each |
| 91017-Pt | 铂靶Platinum （Pt） target | each |
| 91017-Ag | 银靶Silver （Ag） target | each |
| 91017-Pd | 钯靶Palladium （Pd） target | each |
| 91017-.2-Au | 金靶Gold target （Au） 0.2mm thick | each |
| 91017-.2-AP | 金钯Gold/palladium （Au/Pd） target 0.2mm thick | each |
| 91017-.2-Pt | 铂靶Platinum （Pt） target 0.2mm thick | each |
| 91003 | 爱德华旋转真空泵RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter （115/230V 50/60Hz） | each |
| 96000 | Replacement oil mist filter | each |
| 91040 | 碳蒸发附件（镀碳时选用）Carbon evaporation attachment — EMS 7620 | each |
