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厂商性质
所在地
| 产品系列特性 输入压力 输出压力 | 允许内泄露 | 流量系数 | ||||
| 15系列高纯度，超高流量 | | | | | ||
| ·无内螺纹 | 300PSIG | 130PSIG | <1×10-9 | 11300SLPM | 316L不锈钢 | |
| 15系列 | ·10Ra微英寸抛光 | | （400SCFM） | |||
| ·弹簧负载：Cv=8 | | 28,300SLPM | ||||
| ·低于气室负载：Cv=20 | （1000SCFM） | |||||
| *单位为大气压·毫升/秒氦气 | ||||||
