主要特性与技术指标

电流－电压测量功能

• 0.1 fA – 1 A 和 0.5 µV – 200 V 测量范围
• 点测量和扫描测量功能
• 脉冲点测量和扫描测量，小脉宽达 500 µs
• ASU（自动传感和开关单元）可以与 HRSMU 配合使用，提供 0.1 fA 的测量分辨率和 SMU/AUX 路径切换

EasyEXPERT group+ 软件

• 可以在用户 PC 上提供表征环境
• 使用键盘和鼠标，通过直观的图形用户界面（GUI）进行操作
• 多种测量模式，快速设置和执行测量（应用测试、典型测试和快速测试）
• 图形显示和自动分析功能，能够生成数据并导入 Excel 和图像以便分析和报告

E5270B 硬件

• 测量模块拥有多达 8 个插槽，可配置，可升级
• 可选择高分辨率 SMU（HRSMU）、中等功率 SMU（MPSMU）和大功率 SMU（HPSMU）进行配置。HRSMU 支持选件 ASU
• 高分辨率和高速模数转换器（ADC）可以用于所有已安装的模块
• 主机中配备有源接地单元（GNDU），以施加 0 V 电压和吸收高达 4 A 的电流

描述

Keysight E5270B 精密型 IV 分析仪是能够对各种材料和器件进行电流－电压表征的完整解决方案。E5270B 支持多个 SMU（电源/监测单元），能够执行电压/电流供应和电压/电流测量。其具有的电流测量性能，可以测量 0.1 fA 的电流。其模块化体系结构使您可以利用 8 个插槽配置或升级 SMU 模块。图形用户界面的 EasyEXPERT group+ 表征软件可以安装在您的 PC 上，以支持表征中要求的所有任务，例如测量设置和数据分析。SMU 全面的测量功能与 GUI 表征软件强强组合，使 E5270B 成为表征和测试器件、材料、半导体、有源/无源器件或几乎任何其他类型电子器件的理想解决方案，并且提供优异的测量可靠性和效率。

Keysight EasyEXPERT group+ 软件支持在整个表征过程中（从测量设置和执行，到结果分析和数据管理），通过交互式的手动操作或借助半自动晶圆探头的自动操作，在整个晶圆上实施高效和可重复的器件表征。EasyEXPERT group+ 配备了许多易于使用的测量（应用测试），使您可以快速而轻松执行电流－电压表征，并可以选择在每次测量结束后将测试条件和测量数据自动保存到*的内置数据库（工作区）中，以确保不会遗失重要的信息以及在日后能够重复执行该测量。凭借这些全面的测量功能，Keysight E5270B 提供了一款完整的电流－电压表征解决方案。

除了用作分析仪之外，E5270B 还可以作为系统组件 SMU 在机架和插拔式（stuck）测试系统中使用。它为电流－电压测量提供了出色的可扩展性和同类产品中较优异的测量精度。您可以用 FLEX 命令集对它进行远程控制，该命令集支持强大的测量功能。