uv光氧废气净化设备利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，*臭氧对有机物具有*的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有*的清除效果。同时，利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，*达到脱臭及杀灭细菌的目的。
uv光氧废气净化设备高能紫外线灯管发射的高能紫外线产生的光子所具有的能量必须大于恶臭气体分子的分子键结合能，才能将恶臭气体分子裂解。
混合气体中需要有足够的含氧量，才能产生足够的游离态氧和臭氧与裂解后的恶臭气体分子团结合产生无污染的低分子化合物。因此不适应处理浓度过高的废气，如处理高浓度废气时，应相应的补充一部分新鲜风以增加含氧量。
需控制好光解的进气条件，包括温度、湿度、粉尘及气体黏性物质的含量、pH等，方可保证较高的高净化效率。

Uv光氧废气净化设备安全及性能保障由于UV光解系统主要是靠高能紫外线光去裂解有机废气或恶臭气体分子，设备内部主体是石英材质的UV高能紫外线灯管，该灯管只是产生高能量的紫外线光，是将电能钟转化为光能，不产生高热，更不可能产生火花，Uv光氧净化设备灯管接线口处也做了严格规范的密封保护，因此UV光解工艺从理论上讲是不会产生着火甚至爆炸等安全事故的