一、按发生的故障的过程分，故障缓慢发生为见渐发性故障，故障突然发生为突发性故障

   二、按发生故障次序分，分为原发性故障和继发性故障

   原发性故障，往往现在某局部发生小故障，此故障暂时未被发现或对真空泵运转未造成大影响。

   继发性故障，当继续运转时，原发性故障损坏的部分造成真空泵的不平衡或碎片进到邻近运转部分而造成“健康”的部分损坏，这情形再往后发展直至真空泵整体或抓药部分毁坏二停止运转，后面阶段是继发性故障。例如，一台真空泵可能一开始叶片发生轻微的摩擦，然后叶片把缸体磨损的凹凸不平，仍运转，磨损的缸体破坏扩大到卡主真空泵至停机。真空泵维修技术人员面对破坏的严重的缸体内壁，要全力找出什么是原发性故障，才能正确采取预防性措施。一般原发性故障过程较长，而继发性故障则在短期内发生，作为真空泵故障诊断的*性就要在原发性故障刚发生时可诊断出来，及时采取维修措施，使损失较少。而当继发性故障发生后才诊断出来的马后炮式是不可取的，不但造成损失大，而且故障后分析故障原因困难，不利于以后的改进。