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产品介绍：
硅压力传感器芯片
应用
l 汽车轮胎压力监测
l 发动机控制
l 大气压力测量
l 空压表
l 手执压力计
特色
l 固态、MEMS技术、高可靠性
l 低成本、小尺寸
l 标准压力范围：0－100KPa； 0－700KPa
l 非线性 < 0.20%FSO
l 硅／硅键合芯片，稳定性好
描述
可提供小型压阻压力传感器芯片，其尺寸为1x1mm2。当用3VDC供电时，传感器产生毫伏输出电压，正比于输入压力。压力传感器芯片为绝压模式。
硅压力传感器芯片技术指标
除非特别指出，所有参数在5V供电及室温下测得。
|
| 最小值 | 典型值 | 值 | 单位 | 备注 |
激励电压 |
|
| 5.0 |
| V |
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激励电流 |
|
| 1 |
| mA |
|
满量程输出（FS） | 700kpa | 90 | 100 | 110 | mV |
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零位输出 |
| 0 |
| 25 | mV | 注1 |
满度温度系数 |
| -24 | -19 | -15.5 | %FS/100℃ | 恒压供电 |
零位温度系数 |
| -7 |
| +7 | %FS/100℃ |
|
电阻温度系数 |
| +19 | +24 | +28 | % /100℃ |
|
线性 |
| -0.45 | -0.15 | +0.45 | %FS |
|
桥阻抗 |
|
| 5 |
| KΩ | 注2 |
过载压力 |
| 2X |
|
| 额定FS |
|
破坏压力 |
| 4X |
|
| 额定FS |
|
工作温度 |
| -40 |
| +125 | ℃ |
|
存储温度 |
| -55 |
| +150 | ℃ |
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注1：一个大气压下，5V供电，电桥输出。
注2：同一硅片上，电阻偏差<±0.4KΩ。
