硅烷气体纯化装置

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2019-07-20 08:36:48
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苏州博伊尔净化设备有限公司

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产品简介

苏州博伊尔净化设备有限公司是一家专业从事于气体设备和各类净化设备的研发、设计、生产和制造的企业

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产 品 说 明
硅烷作为一种提供硅组分的气体源 ,广泛应用于微电子、光电器件以及高纯度多晶硅生产 ,潜在应用前景更为广阔。随着硅烷应用领域的扩大 ,硅烷安全使用和处理已成为首要的问题。通过对硅烷着火的研究和事故分析表明 ,硅烷的危险特性在于它与氧反应的*活性 :自燃 ,着火下限低 ,燃烧能量大。由于硅烷的自燃特性 ,对它的安全防范 ,与一般的易燃易爆物质相比 ,除一些共同点之外 ,还有显著的不同之处。在操作中必须预防高浓度硅烷与氧接触发生自燃着火。同时还必须防止硅烷泄漏在有限的空间内与氧混合,形成不稳定爆炸气团。
 
硅烷作为一种提供硅组分的气体源 ,广泛应用于微电子、光电器件以及高纯度多晶硅生产 ,潜在应用前景更为广阔。随着硅烷应用领域的扩大 ,硅烷安全使用和处理已成为首要的问题。通过对硅烷着火的研究和事故分析表明 ,硅烷的危险特性在于它与氧反应的*活性 :自燃 ,着火下限低 ,燃烧能量大。由于硅烷的自燃特性 ,对它的安全防范 ,与一般的易燃易爆物质相比 ,除一些共同点之外 ,还有显著的不同之处。在操作中必须预防高浓度硅烷与氧接触发生自燃着火。同时还必须防止硅烷泄漏在有限的空间内与氧混合,形成不稳定爆炸气团。
 

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