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电子行业用超纯水设备用途:
•化工材料的生产和加工过程所用的溶剂及清洗过程
•超纯材料和超纯化学试剂
•实验室和中试车间
•电子半导体、集成电路板上用到的化工材
•石英、硅材料生产、加工、提纯
在电子行业用超纯水设备的生产过程中,水中的阴阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除,水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌,目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。
◆工艺流程
预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-中间水箱-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2精密过滤器-用水点(≥18MΩ.CM)(新工艺)
预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水点(≥17MΩ.CM)(新工艺)
◆设备特点
为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为源水,设有多介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)、抛光混床系统等。
◆应用领域
•化工材料的生产和加工过程所用的溶剂及清洗过程
•超纯材料和超纯化学试剂
•实验室和中试车间
•电子半导体、集成电路板上用到的化工材
•石英、硅材料生产、加工、提纯