实验室用超纯水设备通常由原水预处理系统、反渗透纯化系统、超纯化后处理系统三部分组成。预处理的目的主要是使原水达到反渗透膜分离组件的进水要求，保证反渗透纯化系统的稳定运行。反渗透膜系统是一次性去除原水中98%以上离子、有机物及*微生物(理论上)经济高效的纯化方法。超纯化后处理系统通过多种集成技术进一步去除反渗透纯水中尚存的微量离子、有机物等杂质，以满足不同用途的终水质指标要求。
实验室用超纯水设备能去除99.6%以上的盐份及*的有机物、细菌、病毒物。反渗透运行过程中，膜表面有一定量的沉积物，系统设置主机自动冲洗反渗透装置，以保证反渗透装置的稳定运行。本系统的反渗透膜为美国陶氏公司膜。
高压泵是RO装置的动力源。为使RO装置处于良好运行状况下，高压泵进出口压力开关；当高压泵进口压力低于限定值（缺水P≤0.05MPa）或高压泵出口压力高于限定值（P≥0.6 MPa）时，则高压泵及RO系统自动停止运行，以防止误操作引起出水背压过高而对RO膜造成损坏。RO系统运行制水、压力控制、自动清洗均为自动控制。RO系统开机可自动定时对RO膜元件进行低压表面冲洗，将RO膜元件内尚存的浓水冲洗掉，防止浓水沉积引起RO膜表面结垢。