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高纯水,超纯水(high-purity water,ultra-high purity water)是化学纯度*的水,其中的杂质的含量小于0.1mg/L。目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99.999999%,其中杂质含量低于0.01mg/L。将水中的导电介质几乎全部去除,又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。
目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。
? ? 反渗透加EDI技术,属当今世界上好的脱盐技术,在电子、医药等行业水质净化、清洗、水质纯化以及废水处理有着广泛的应用。
电子工业超纯水设备主要用途:
? ? 电子工业超纯水设备主要用于微电子产品生产用高纯水,半导体、显象管制造业用超纯水,集成电路板生产清洗用超纯水,蓄电池、锂电池、太阳能电池、干电池等生产用纯水,高纯水,超纯水的制备。
? ? 例如,在电子工业方面,可以作为线路板清洗用超纯水的处理设备,与其它技术诸如电渗析、离子交换和蒸馏相比,具有能耗低、脱盐率高、除菌能力强和操作简单、维护方便的特点,大大节省了运行、维修成本。
一、应用范围概述:
微电子行业:电解电容器生产、电子管生产、显像管和阴极射线管生产、黑白显像管荧光屏生产、液晶显示器的生产、晶体管生产、集成电路生产、电子新材料生产;
化学化工:超纯化学试剂生产化工新材料生产;
其它:贵金属冶炼、磁性材料生产、电子级无尘布生产、光学材料生产等;
二、实验室高纯水设备典型工艺流程
1 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)
2预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)
3 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥12MΩ.CM)(新工艺)
三、标准参考
显像管、液晶显示器用纯水水质
集成电路用纯水水质
电子级纯水标准
四、设备特点
? ? 实验室高纯水设备具有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用*和客户要求相统一的方法,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和运行可靠性。