微电子产品用高纯水设备说明

    为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上，取达国家自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）系统等。

    系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用*和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

    执行标准：严格执行现行的各种水处理标准（生活饮用水标准、实验室用水标准、电子工业部高纯水标准等），不断的在工艺设计和材料选择上进行改进，以满足先行的各种标准。

组成：

　　1、预处理系统

　　反渗透进水中含有的难溶盐及相关成分达到下表中所列的浓度时，均应在预处理中采取相应措施，以防止反渗透膜结垢，预处理功能强大，自保护好，对各类杂质去除效率也较高。

　　2、反渗透系统

　　采用优质进口RO膜。具有*筛分作用，它的性能极其稳定，在系统既定压力下，只能透水而不透过溶质。因此，能精密滤除水中的细菌、病毒、盐类及各种致癌物质。脱盐率≥99%。反渗透系统具备自动清洗功能，有效预防反渗透膜结垢堵塞，保证其持续高效的运行。

　　3、混床系统

　　采用极优质核子级抛光混床四柱树脂。超纯化处理系统的设置，使得水中离子被全部除去。通过该系统的产水水质电阻率*可达到18、2兆欧/厘米，已足以满足不同实验基本应用的要求。

　　4、紫外消毒

　　采用特殊光源双波长紫外灯。因其的性能，超纯水在该紫外灯内再经过6道循环处理过程，既*除灭了残余的细菌，又*降解了残留的痕量有机物。

微电子产品用高纯水设备工艺流程：

　　1、预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-用水点

　　2、 预处理-一级反渗透-二级反渗透-纯化水箱-紫外灯-用水点

　　3、预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-EDI装置-纯化水箱-紫外灯-用水点

　　4、预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→抛光混床→用水点