电子行业超纯水常规制备工艺

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2019-05-23 19:07:28
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1)采用离子交换方式,其流程如下:
原水原水加压泵多介质过滤器活性炭过滤器软水器(阻垢剂)精密过滤器阳树脂过滤床阴树脂过滤床阴阳树脂混床纯水箱纯水泵微孔过滤器用水点
2)采用反渗透加离子交换方式,其流程如下:
原水原水加压泵多介质过滤器活性炭过滤器软水器(阻垢剂)精密过滤器反渗透机阴阳树脂混床纯水箱纯水泵微孔过滤器用水点
3)采用反渗透加EDI方式,其流程如下:
原水原水加压泵多介质过滤器活性炭过滤器软水器(阻垢剂)精密过滤器反渗透机→EDI系统抛光混床纯水箱纯水泵微孔过滤器用水点
 
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率
MΩ·cm(25℃)
18
(95%
时间)
不低于17
15
(95%
时间)
不低于13
12.0
0.5
全硅 zui大值ug/L
2
10
50
1000
>1um微粒数,zui大值 个/ml
0.1
5
10
500
细菌数,zui大值,个/mL
0.01
0.1
10
100
铜,zui大值 ug/L
0.2
1
2
500
锌,zui大值 ug/L
0.2
1
2
500
镍,zui大值 ug/L
0.1
1
2
500
钠,zui大值 ug/L
0.5
2
5
1000
钾,zui大值 ug/L
0.5
2
5
500
氯,zui大值 ug/L
1
1
10
1000
硝酸根,zui大值 ug/L
1
1
10
500
磷酸根,zui大值 ug/L
1
1
10
500
硫酸根,zui大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳,zui大值 ug/L
20
100
200
1000
:董
gretech1995
http://www.geruishuiwu.com
 
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