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东莞普诺克真空科技有限公司专业设计制造个性化的*真空系统,公司拥有专业性的设计施工队伍,可以根据客户的不同需求进行设计与组建,同时提供一站式的真空抽滤系统服务:咨询、设计、安装、现场调试及售后跟踪服务。
真空抽滤系统型号:PNK100(1 x RH0100)
抽速:100m3/hhttp://www.pronotek。。com/
极限压力:0.1(15)mbar
缓冲罐体:100L
电机功率:3.0Kw
尺寸:1100×425×900mm
真空抽气接口尺寸数量:12×6
*真空站优势:
1.涵盖众多小型真空消费者的需求
2.模块化设计,根据客户的具体流程定制
3.操作简单
4.节省空间的系统解决方案
5.投资回报率高,优良的性价比
6.节能功能
7.拥有成本低
8.由于缓冲体积循环时间减少(无限泵送速度效应)
9.完整的一站式系统,可随时运行
降低漏气率的措施:
1.真空系统的结构
真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。
(1)尽可能地避免出现小曲率半径的死角,要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。
(2)抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用圆弧过渡,使气路畅通无阻,但要考虑清洗清扫的方便性。
(3)认真设计真空室内各种连接件的结构,使气路畅通,避免气路堵塞。
(4)打磨抛光真空系统内表面,表面越光亮就越不易气体吸附,越容易获得真空。
(5)尽可能减小真空室的体积,缩短管路系统。
2.密封形式的选择
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式,对于人工晶体生长设备,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例,我们选择磁性流体密封作为旋转动密封,选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封,小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封,各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式,直径压缩比为25%。
密封件材质的选用:真空度在lO-3Pa以下的真空系统,密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是,考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度zui高可达2300℃,密封部位进行水冷后,其温度在80℃左右,个别处温度可达100℃以上)。所以,要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料,除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外,还要求有低的渗透率和出气率,良好的耐热性耐油性,同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
3.静密封结构的选择
各种真空系统中,80%以上的密封为静密封,静密封效果的好坏,对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此,要对静密封结构进行认真设计,以达到理想的效果。
对静密封结构的设计,主要考虑如何选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。
无论是矩形密封槽、燕尾型密封槽还是梯形密封槽,其槽底较小的粗糙度容易获得为主要密封面,而其侧面则较小的粗糙度往往不易获得。同时,为了消除残留气体,在存在残留气体处设计了贯通孔,使系统内部各处畅通无阻。