ShaPix3D® 1500系列
产品特点
• 全表面测量平面度、波度和轮廓度
• 完整的三维分析和报表
• 对大于视场范围的表面可以进行无缝拼接
• 三维数据点：400万/视场
• 垂直分辨率: 50 nm
• 横向分辨率: 80 μm
• 多表面间的相对关系测量
• 高速、非接触、容易使用
性能参数
• 运行环境温度： 18 ℃~25 ℃
• 湿度： 10% ~ 80% 非冷凝
• 1级激光产品
• 视场范围：150 mm x 150 mm x 225 mm
• 距传感器的工作距离： 25 mm ~ 250 mm
• 横向分辨率： 80 μm
• 垂直分辨率：0.05 μm
• 垂直精度基数： 1 μm
• 测量速度：约1分钟 / 视场
• 测量点数：400万 / 视场
